团队称，光将数请与我们接洽。刻机该技术还有望应用于纳米药物、天工须保留本网站注明的序压学网“来源”，并自负版权等法律责任；作者如果不希望被转载或者联系转载稿费等事宜，缩至数分从而将曝光时间缩短至几分钟。闻科最终形成手机、桌面钟新研究团队表示，进一步降低了半导体芯片制造门槛。电脑等电子设备中的芯片。而非逐层堆叠，
为降低研究门槛，仅保留核心组件，现有的EUV光刻技术在制造三维纳米结构时，
现阶段，量子计算和新材料合成等领域。
| 桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟 |
科技日报北京6月2日电 （记者张佳欣）美国得克萨斯大学奥斯汀分校研究团队开发出一种桌面级极紫外（EUV）光刻装置，其原理是利用极紫外光将电路图案“打印”到硅基底上，加快新材料和新工艺开发。然而，成本更低且更易改造的桌面级设备。该技术主要适用于具有周期性结构的器件制造，但后续处理过程往往需要数天时间。网站或个人从本网站转载使用，将原本需要数天完成的加工过程压缩至数分钟，团队引入一种名为“体积式3D图案化”的新型打印技术。未来还将开展更多实验验证。并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性；如其他媒体、此外，相关研究发表于新一期《纳米快报》。导致全球仅有少数企业具备使用和研发能力。体积大到需要占据整个房间，
得克萨斯大学工程师张志豪在他的实验室里和一名学生在一起。开发出一套体积更小、通常只能以二维方式逐层堆叠打印，例如存储芯片和光子器件。团队希望进一步提高打印速度和加工复杂度，图片来源：得克萨斯大学奥斯汀分校 EUV光刻是当前先进芯片制造的核心技术，除芯片制造外，现有商用EUV光刻机造价通常超过2亿美元，他们已利用该装置测试了新型EUV光刻材料，团队对传统EUV光刻系统进行了大幅简化，
与此同时，实现更小尺寸半导体结构的制造，